扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
气体捕集泵(真空泵的工作原理)这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。
1、吸附泵它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2、吸气剂泵它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。
共同特性编辑1.设计精密.结构坚固.重量轻.易于安装及维护。2.空气冷却（气冷式）。3.值结式驱动，可避免转动皮带及齿轮之松弛或损耗。4.含油雾过滤器，普旭busch真空泵维修厂，不须将气体排出室外。5.进气口有逆止阀，当泵浦停止时，此逆止阀可隔离泵浦于系统，避免真空油逆流。 [3] 6.低震动，不需用基础螺拴固定泵浦. 7.运转声音小. 8.具气体压载阀，可适用于蒸气之制程。9.即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气，会从泵浦出气口完全排出，而不会在泵浦内发生凝结现象。
无油真空泵---性好，是抽真空，压缩，两用真空泵，是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。
1.润滑减磨：当真空泵启动后，转子和腔体之间、主轴和端板之间、旋片和转子等均存在着快速的相对摩擦，真空油的一大作用就是通过零件的摩擦，在两个摩擦表面间形成油膜，油膜会将两个摩擦的零件表面隔开，从而达到减少磨损的目的。2.防锈防蚀：真空油通过零件的运动，会在零件表面形成油膜，这层油膜可以吸附在零件表面上，防止水、空气等与零件表面接触而使零件腐蚀生锈。
3.减震缓冲：当真空泵启动时，压缩室压力急剧上升，突然加剧叶片、轴承、轴封、排气阀片的负荷，这个负荷经过轴承的传递润滑，吸收冲击并减小振动，起到缓冲的作用。
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